Для повышения точности производственных процессов с участием роботов-манипуляторов необходимо уделить внимание нескольким ключевым аспектам, одним из которых является использование сенсоров и систем обратной связи [1]. Система управления на основе MEMS датчиков и систем обратной связи позволяет роботам реагировать на изменения в окружающей среде и корректировать свои действия для достижения требуемой точности. Такая система обладает следующими свойствами: - Высокая точность и чувствительность: MEMS датчики за счет своих свойств позволяют более точно наблюдать положение и движения манипуляторов. Это наиболее актуально при выполнении высокоточных действий. - Миниатюризация и компактность: MEMS датчики имеют компактные размеры и малый вес, что позволяет интегрировать их в систему управления без увеличения габаритов манипулятора. Это особенно актуально для применения в робототехнике и автоматизированных системах.