Рассмотрены аспекты термодинамики поверхности, атомной структуры и электронных свойств двумерных (планарных) наноструктур. Дается введение в понятия релаксации и реконструкции поверхностей, поверхностных и интерфейсных состояний, областей пространственного заряда и двумерного электронного газа. Также кратко рассмотрены все основные классические и перспективные технологические методы получения тонких пленок нанометровой толщины. Предназначено для обучающихся средних и старших курсов по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» по профилю подготовки «Светотехника и источники света» и «Промышленная электроника», а также по направлению 28.03.02 «Наноинженерия» и 22.03.01 «Материаловедение и технологии материалов».